日本光刻巨头：中国企业想掌握EUV芯片技术难度很大

5月23日消息，据报道，近日日本光刻胶巨头JSR的首席执行官埃里克约翰逊(Eric Johnson)在接受采访时表示，尽管中国在努力推动芯片的自给自足，但中国半导体产业必要的基础设施不足，比如很难掌握基于极紫外(EUV)光刻的复杂芯片制造技术，发展先进制程的芯片制造技术将非常困难。

约翰逊指出，“我认为中国也非常想发展自己的EUV(极紫外光刻)能力和相关的生态系统(比如EUV光刻胶)。但坦率地说，我认为他们要做到这一点非常困难。”

实际上，荷兰光刻机巨头阿斯麦(ASML)CEO温彼得也在今年1月表达过和约翰逊类似的观点，认为“中国不太可能复制出顶尖的EUV光刻机”。但他当时补充称，永远别那么绝对，中国的物理定律和全世界是一样的，“他们肯定会尝试”。

另外，对于中国在光刻胶领域的追赶，以及希望在高端光刻胶技术上的突破，约翰逊认为，即便中国获得相关化学成分的确切资料，但在纯度、精度及制造上都非常困难，且中国也没有供应链支持。但中国当前积极投资成熟的芯片技术，也是不容忽视的一部分，“人们还没充分意识到，中国有多少机会可以不依赖这些先进制程。”

资料显示，JSR公司成立于1957年，中文名为日本合成橡胶，是全球主要的光刻胶供应商之一。在应用方面，光刻胶是半导体、液晶面板(LCD)、印刷电路板(PCB) 等产业的重要原材料。

在半导体领域，目前光刻机曝光光源一共有六种，分别是紫外全谱(300～450nm)、 G 线(436nm)、 I 线(365nm)、深紫外(DUV，包括 248nm 和 193nm)和极紫外(EUV)，相对应于各曝光波长的光刻胶也应运而生，对应分别为，G 线光刻胶、I 线光刻胶、KrF光刻胶、 ArF光刻胶、EUV光刻胶。

目前，在全球半导体光刻胶领域，主要被日本合成橡胶(JSR)、东京应化(TOK)、美国杜邦、日本信越化学、富士电子、罗门哈斯等头部厂商所垄断，其中JSR占据了28%的市场。

而在高端半导体光刻胶市场上，JSR在ArF光刻胶领域以24%的市场份额位居全球第一。在EUV光刻胶方面，TOK和JSR有较高的份额。

从国内的光刻胶市场来看，低端的中g线/i线光刻胶自给率约为20%，KrF光刻胶自给率不足5%，而高端的ArF光刻胶完全依赖进口，是国内半导体的卡脖子技术之一。

至于EUV光刻胶，由于美国的阻挠，大陆目前无法进口EUV光刻机，因此国产EUV光刻胶的开发自然也无从谈起。